设备介绍

影像式椭圆仪：
Axometrics的影像式椭圆仪分为基础(ISR-1)与进阶版(EllipsoStep)，解决光谱椭偏仪的量测限制，将光谱椭偏仪与显微镜结合。

 

 

 

	ISR-1	EllipsoStep
Lower system cost	✓
使用程度	简易	进阶
同时对焦FOV下的全景像	✓
最小量测膜厚区域	1 μm x 1 μm	1 μm x 1 μm
已知折射率的简易膜层量测	✓	✓
未知折射率的膜层量测		✓
多层结构量测		✓
20 nm – 10,000 nm厚度的膜层量测	✓	✓
极薄膜量测（0 nm – 20 nm）		✓
NK 值量测		✓
Focus Stage	手动	自动
震动要求等级	VC-B	VC-A

 

共同特色:

• 使用旋转式PSCA系统搭配16位CCD相机
• 同一时间量测影像中的每一点位
• 每波长仅2.4秒
• 波长范围介于 250至1,000nm间
• 可选择欲使用镜头倍率

特点：

• 小区域的在线扫描
• 薄膜厚度的2D影像

应用：
影像式椭圆仪用于检测制造半导体(semiconductors)、有机发光二极管(OLED)、发光二极管(LED)、液晶显示器(LCD)、触摸屏(touchscreens)、太阳能电池(solar cells)的薄膜，包含：

• 硅Silicon (a-Si, p-Si)
• 二氧化硅SiO2
• 氮化硅SiNx
• 有机薄膜Organic layers

光学分辨率将依所选择的镜头倍率而改变，使用者可依量测需求来选择。

在镜头成像下的范围内，可自由选择区块进行分析。

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